PVD-BESCHICHTUNGSVERFAHREN

Das bedeutet PVD (engl. Physical Vapour Deposition):

• Vakuumbasiertes Beschichtungsverfahren bzw. Dünnschichttechnologie
• Im Vakuum wird das Ausgangsmaterial (z. B. Titan) verdampft und unter Zufuhr von Reaktivgasen auf den zu beschichtenden, sich ständig in Bewegung befindlichen Materialien abgesetzt
• Es entsteht eine sehr harte Schicht in 1 - 4 µm Bereich (zum Vergleich: ein Haar ist ca. 40 µm dick)

PVD Arc Verfahren:

• Feste und hochreine Schichtmaterialien, wie Chrom, Aluminium oder Titan werden durch einen Lichtbogen verdampft
• Das verdampfte Material wird zum größten Teil ionisiert und bildet ein hochenergetisches Plasma
• Die Metallionen verbinden sich gleichzeitig mit den zugeführten Reaktivgasen und werden durch Anlegen einer BIAS-Spannung an die rotierenden Substrate mit einer sehr hohen Energie beschleunigt und haften als dünne Schicht auf den Bauteilen

Ausgangsmaterial:

• Titan und Titanlegierung (TiAl)

Temperaturbeständigkeit:

• je nach Schichtart 400 - 800° C

Schichtarten:

• Multilayerschichten

Kühlung:

• bei TiAlN nicht erforderlich

Einsatzbereiche:

• Titan findet aufgrund seiner Härte und seines leichten Gewichts in nahezu allen Wirtschafts- und Industriebereichen Anwendung
• Aufgrund seiner vollständigen biologischen Kompatibilität wird Titan auch in der Lebensmittelindustrie und Medizin eingesetzt.

Vorteile:

• Deutlich längere Lebensdauer der Werkzeuge und Bauteile
• Effiziente Produktionsabläufe durch geringeren Verschließ
• Neue Werkzeugnutzungskonzepte in Abstimmung auf individuelle Kundenanforderungen
• Senkung des Energieverbrauchs
• Schonung der Umwelt und Ressourcen
• Gute Abfuhr der Reibungswärme – kein Kühlen erforderlich, jedoch empfehlenswert
• Hohe Wärmebeständigkeit (bis 800° C)
• Hohe Kratzfestigkeit